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太陽能發(fā)電新能源硅晶片凈化工程設計方案解決
發(fā)布時間：2021-06-19 01:43:43 | 作者： admin | 來源： 本站
太陽能發(fā)電新能源硅晶片是由光伏材料生產(chǎn)加工而成的一片片像浴室鏡子一樣明亮的圓片，是生產(chǎn)制造半導體材料集成電路芯片集成ic的原料?，F(xiàn)階段微電子技術產(chǎn)業(yè)鏈迅猛發(fā)展，集成電路芯片技術性已邁進0.18μm下列的時期，巨大地刺激性了太陽能發(fā)電新能源硅晶片的發(fā)展趨勢，另外對太陽能發(fā)電新能源硅晶片的技術參數(shù)的規(guī)定也是有很大的提升，因而太陽能發(fā)電新能源硅晶片的發(fā)展前途十分開朗。
一、太陽能發(fā)電新能源硅晶片的生產(chǎn)制造生產(chǎn)流程
從大的層面而言，太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造包含硅單晶棒生產(chǎn)制造和太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造兩絕大多數(shù)，細分化為下列幾個關鍵工藝流程：單晶體棒生長發(fā)育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發(fā)育到直徑切削為硅單晶棒生產(chǎn)制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程。詳細介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件和自動化控制系統(tǒng)軟件的方案設計。
二、空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件
空氣凈化系統(tǒng)的設計方案是與加工工藝的合理布局、生產(chǎn)制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業(yè)廠房空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件都各有特色，下邊來詳細介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規(guī)定，設風冷熱泵分體式柜機空調機（PAC）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用兩層百葉風口側排風方法；空調室外機置放在平屋面上。切成片室的風量很大，新風系統(tǒng)選用立即揮發(fā)式熱泵機組型房頂空調S1-1和S1-2來填補。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷熱泵分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器空氣過濾網(wǎng)（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調應設二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規(guī)定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統(tǒng)由鄰近凈化室正壓力回來。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環(huán)境濕度操縱規(guī)定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統(tǒng)經(jīng)新風機組（MAU-1、2）解決后，引至排風管上送至房間內，空氣濕度由新風機組來確保。新風機組是與凈化設備同用的。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風機組下設粗、中效過濾器。
三、凈化設備
太陽能發(fā)電新能源技術潔凈工程 系統(tǒng)軟件用的新風系統(tǒng)空調機組（MAU）和循環(huán)系統(tǒng)空調機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經(jīng)無塵蒸汽產(chǎn)生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術用酸量較多，采用全新風系統(tǒng)空調機組（MAU-3） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。其氣旋步驟為：新風系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-高效送風口排風-潔凈區(qū)。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風取名為50次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風口正壓送風口排風，屋子側下百葉風口送風。其氣旋步驟為：新送風混和!中效過濾器空氣過濾網(wǎng)-翅片換熱器-通風機-排風管-高效率空氣過濾網(wǎng)正壓送風口-潔凈區(qū)-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。
5、清洗室、質量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 離心風機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風，屋子側下百葉風口送風。FFU布滿率是33%，清洗室、質量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規(guī)定，需要在循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）內加設有機化學過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風混和-有機化學過濾裝置（NH4 ）-有機化學過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風機-排風管-排風靜壓箱-離心風機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區(qū)-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風系統(tǒng)采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風系統(tǒng)集中化運輸后送至各循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-各循環(huán)系統(tǒng)空調機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內的高效送風口正壓送風口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內的FFU的鋼網(wǎng)需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質量診斷室依據(jù)加工工藝規(guī)定需采用灰黑色板墻、灰黑色現(xiàn)澆板，相對應采用灰黑色送風口，F(xiàn)FU的鋼網(wǎng)需采用灰黑色鋼網(wǎng)。
四、凈化設備的中央空調自動控制系統(tǒng)
新風機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風機，由總排風管上的負壓感應器來操縱變頻調速器。在連接每一個排風量及正壓力操縱循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）的新風系統(tǒng)管上均設定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產(chǎn)線設備的風量的轉變而轉變，電動蝶閥的開啟度轉變造成總排風管上的負壓轉變，依據(jù)其預設值調整AHU-1、2的離心風機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的環(huán)境濕度是由新風機組MAU-1、2來確保，操縱新風機組排風情況點，依據(jù)排風情況預設值來調整干蒸氣空氣加濕器的電動式執(zhí)行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內濕度光敏電阻器HE持續(xù)整定值。凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的溫度是由循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組AHU來確保的，依據(jù)室溫來調整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統(tǒng)
冷藏水系統(tǒng)軟件層面選用一級泵，用負載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數(shù)量。依據(jù)設置供、智能回水壓力差來自動控制系統(tǒng)供、智能回水負責人中間壓力差總流量進氣閥。
一、太陽能發(fā)電新能源硅晶片的生產(chǎn)制造生產(chǎn)流程
從大的層面而言，太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造包含硅單晶棒生產(chǎn)制造和太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造兩絕大多數(shù)，細分化為下列幾個關鍵工藝流程：單晶體棒生長發(fā)育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角（圓邊）-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻加工（有機化學蝕刻加工、LP-CVD AP-CVD 等加工工藝）-PTA熱處理工藝-反面損害解決-打磨拋光（ML粗拋、ML精拋）-清洗-質量查驗-無塵包裝 從單晶體棒生長發(fā)育到直徑切削為硅單晶棒生產(chǎn)制造工藝流程，切成片之后的步驟為太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程。詳細介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件和自動化控制系統(tǒng)軟件的方案設計。
二、空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件
空氣凈化系統(tǒng)的設計方案是與加工工藝的合理布局、生產(chǎn)制造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業(yè)廠房空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件都各有特色，下邊來詳細介紹太陽能發(fā)電新能源硅晶片生產(chǎn)制造工藝流程的空氣凈化系統(tǒng)系統(tǒng)軟件計劃方案。
1、切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規(guī)定，設風冷熱泵分體式柜機空調機（PAC）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用兩層百葉風口側排風方法；空調室外機置放在平屋面上。切成片室的風量很大，新風系統(tǒng)選用立即揮發(fā)式熱泵機組型房頂空調S1-1和S1-2來填補。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷熱泵分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器空氣過濾網(wǎng)（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），一樣房頂式空調應設二級過濾裝置。
2、爐室、BSD室僅有溫控規(guī)定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統(tǒng)由鄰近凈化室正壓力回來。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒）。
3、磨光片診斷室有溫度和環(huán)境濕度操縱規(guī)定，設風冷電加熱分體式柜機空調機（PAL）來確保屋子溫度規(guī)定，房間內機就近原則置放在生產(chǎn)車間內，接風洗塵管，選用正方形散流器頂排風方法；空調室外機置放在平屋面上。新風系統(tǒng)經(jīng)新風機組（MAU-1、2）解決后，引至排風管上送至房間內，空氣濕度由新風機組來確保。新風機組是與凈化設備同用的。生產(chǎn)車間有防污規(guī)定，風冷電加熱分體式柜機空調機送風口處設中效過濾器（空氣塵記數(shù)高效率：≥60%，針對≥1μm顆粒），新風機組下設粗、中效過濾器。
三、凈化設備
太陽能發(fā)電新能源技術潔凈工程 系統(tǒng)軟件用的新風系統(tǒng)空調機組（MAU）和循環(huán)系統(tǒng)空調機組（AHU）的制冷劑采用6-11℃的冷藏水，加溫采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的無塵蒸汽加濕，無塵蒸汽由純水經(jīng)無塵蒸汽產(chǎn)生器造成。
1、CP室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，CP室工藝技術用酸量較多，采用全新風系統(tǒng)空調機組（MAU-3） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。其氣旋步驟為：新風系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-高效送風口排風-潔凈區(qū)。
2、ML室凈化處理等級為7級，換風取名為三十次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
3、CP/CVD室、LP/CVD室、無塵包裝間凈化處理等級為6 級，換風取名為50次/鐘頭，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 高效送風口正壓送風口（HEP-ABOX）的中央空調方法。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
4、7級、6 級的潔凈室采用的氣旋方式為頂端高效送風口正壓送風口排風，屋子側下百葉風口送風。其氣旋步驟為：新送風混和!中效過濾器空氣過濾網(wǎng)-翅片換熱器-通風機-排風管-高效率空氣過濾網(wǎng)正壓送風口-潔凈區(qū)-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。
5、清洗室、質量診斷室凈化處理等級為7 級，采用新風機組（MAU） 循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU） 離心風機過濾裝置模塊（FFU )）的中央空調方法。采用的氣旋方式為頂端FFU排風，屋子側下百葉風口送風。FFU布滿率是33%，清洗室、質量診斷室對NH4 、SQx濃度值有規(guī)定，需要在循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）內加設有機化學過濾裝置。5級凈化處理間的氣旋步驟為：新送風混和-有機化學過濾裝置（NH4 ）-有機化學過濾裝置（SQx）-中效過濾器-翅片換熱器-通風機-排風管-排風靜壓箱-離心風機過濾裝置模塊（FFU）-潔凈區(qū)-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。新風系統(tǒng)接自其他系統(tǒng)軟件同用的MAU-1、2新風系統(tǒng)組。
6、除CP戶外的凈化室所需新風系統(tǒng)采用2臺新風機組（MAU-1、2）集中化運輸，新風系統(tǒng)集中化運輸后送至各循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）。其氣旋步驟為：新風系統(tǒng)通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-翅片換熱器-電加熱器-無塵蒸汽加濕-通風機-排風管-各循環(huán)系統(tǒng)空調機組（AHU）。
7、CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多，CP室、ML房間內的高效送風口正壓送風口的擴散板需采用不銹鋼板材制做，清洗房間內的FFU的鋼網(wǎng)需采用不銹鋼板材制做。
8、另特別注意，質量診斷室依據(jù)加工工藝規(guī)定需采用灰黑色板墻、灰黑色現(xiàn)澆板，相對應采用灰黑色送風口，F(xiàn)FU的鋼網(wǎng)需采用灰黑色鋼網(wǎng)。
四、凈化設備的中央空調自動控制系統(tǒng)
新風機組（MAU-1、2）采用變頻式離心風機，由總排風管上的負壓感應器來操縱變頻調速器。在連接每一個排風量及正壓力操縱循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組（AHU）的新風系統(tǒng)管上均設定電動蝶閥，由各凈化室的正壓力值來調整電動蝶閥的開啟度，使凈化室的正壓力值不隨生產(chǎn)線設備的風量的轉變而轉變，電動蝶閥的開啟度轉變造成總排風管上的負壓轉變，依據(jù)其預設值調整AHU-1、2的離心風機頻率，以做到操縱目地。
1、凈化車間/凈化車間的溫度濕度操縱
凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的環(huán)境濕度是由新風機組MAU-1、2來確保，操縱新風機組排風情況點，依據(jù)排風情況預設值來調整干蒸氣空氣加濕器的電動式執(zhí)行器和翅片換熱器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內濕度光敏電阻器HE持續(xù)整定值。凈化處理生產(chǎn)制造凈化車間的溫度是由循環(huán)系統(tǒng)發(fā)電機組AHU來確保的，依據(jù)室溫來調整翅片換熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。
2 、制冷控制系統(tǒng)
冷藏水系統(tǒng)軟件層面選用一級泵，用負載操縱的方式 來明確制冷機組及相對應離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數(shù)量。依據(jù)設置供、智能回水壓力差來自動控制系統(tǒng)供、智能回水負責人中間壓力差總流量進氣閥。
