光學電子凈化工程解決方案
發(fā)布時間:2021-05-14 02:57:32 | 作者: admin | 來源: 本站
光學電子凈化工程目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,設計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領先地位。
光學電子凈化工程一般包括:
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒→回風百葉窗→初效凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
光學電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
光學電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學電子凈化工程解決方案:
凈化工程的設計過程中,應加強對光學電子行業(yè)凈化工程設計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程,并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況,同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟承受能力,綜合各種因素來確定采用何種凈化方案,這樣才可設計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟節(jié)能實用的方案。
1、組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是一個最傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優(yōu)點:
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風過程中被污染程度較低。送風的溫度、濕度的控制比較精確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
缺點:
A.需要有配套的冷凍機房或有放置熱泵機組的室外空間。另需要有放置組合式空氣處理機組的空調(diào)機房,如25000m3/h的組合式空氣處理機組,常用外形尺寸為6450×1850×2250mm左右。對于舊廠房改造項目來說比較困難空出一個20-30┫的機房的;
B.造價高。
特點:
A.建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負擔;
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級、千級或萬級、十萬級等較低的凈化無塵廠房。
2、光學電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之水冷柜機+增壓風柜+高效送風口。
與前種方案比較,這是相對比較簡單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
優(yōu)點:
A.空氣處理效果較好的,處理過后的空氣在送風過程中被污染程度低。送風的溫度、濕度控制效果可以達到較好的控制。主要在空氣處理機組(增壓風柜)里進行控制;
B.布置靈活。自帶冷源;
C.大小廠房、新舊廠房都適用;
D.維修頻率較低;
E.車間噪音低。
缺點:
A.需要小面積的機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的擺放位置;
B.空調(diào)機組與空調(diào)處理機組要集中布置;
C.造價較低。特點:這種方案可以是一次回風也可以是二次回風,具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房。
3、光學電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之分體空調(diào)柜機++FFU送風口
這是最簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護起來,在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優(yōu)點:
A.不需要占用機房面積,布置很靈活的;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;
D.送風均勻度好。
缺點:
A.溫濕度控制較差;
B.可以滿足空氣的潔凈度;
C.FFU的維修頻率高。
4、光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析之無塵車間的特點
A、無塵車間的潔凈度:
LCD制屏的簡略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間,其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產(chǎn)品的沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔凈度一般為萬級或十萬級。
B、室內(nèi)空氣參數(shù)要求:
(1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%。
(2)新風量大。由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的最大值:非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù),是≥15次/h)。
光學電子行業(yè)凈化工程設計方案分析對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設計,應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調(diào)設計方案,以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。